Ernst-Christian Richter
Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System
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broschiert: 88 Seiten Format: 20,5 x 14,5 ISBN 978-3-89675-845-3 35,98 € (Preisbindung aufgehoben)
vergriffen – Neuauflage erhältlich: ISBN 978-3-8316-8635-3