utzverlag

Ernst-Christian Richter: Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System

Ernst-Christian Richter

Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System

  • broschiert: 88 Seiten
    Format: 20,5 x 14,5
    ISBN 978-3-89675-845-3

    35,98 € (Preisbindung aufgehoben)

    vergriffen – Neuauflage erhältlich: ISBN 978-3-8316-8635-3

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