Trotz aller Bestrebungen zur Automatisierung von Produktionsabläufen bei der Montage variantenreicher, hybrider Mikrosysteme in Kleinst- und Kleinserien werden auch in Zukunft manuell durchgeführte Montageoperationen unverzichtbar bleiben. Die begrenzten sensormotorischen Fähigkeiten des Menschen stellen jedoch ein erhebliches Hindernis für die Handhabung von Mikrobauteilen dar. Hauptziel der vorliegenden Arbeit ist daher die Unterstützung des Menschen bei der manuellen Montage miniaturisierter Bauteile durch den Einsatz von Telepräsenz. Hierzu wurde eine Methodik zur Erstellung einer telepräsenzspezifischen Sensorbibliothek sowie ein Vorgehensmodell zur telepräsenzgerechten und prozessbezogenen Auswahl von Sensormodulen und deren Integration in eine telepräsente Mikromontageanlage entwickelt. Die Praxistauglichkeit der entwickelten Sensorbibliothek wurde an Hand einer Pilotanlage am Beispiel eines transatlantischen Teleoperationsexperiments nachgewiesen.