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Rainer Schmid: Entwicklung, Herstellung und Charakterisierung eines mikromechanischen Drehratensensors in dickem einkristallinem Silizium und Aufbau als System mit einer diskreten Auswerteschaltung

Rainer Schmid

Entwicklung, Herstellung und Charakterisierung eines mikromechanischen Drehratensensors in dickem einkristallinem Silizium und Aufbau als System mit einer diskreten Auswerteschaltung

  • broschiert: 146 Seiten
    Format: 20,5 x 14,5
    ISBN 978-3-8316-0083-0

    39,00 € (Preisbindung aufgehoben)

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