utzverlag
Anton Pfefferseder
Sensorik
Herausgegeben von Prof. Dr. Rudolf Müller, TU München
-
-
Dirk Rossberg
Untersuchung und Herstellung eines spektral-abstimmbaren Infrarot-Sensors in Silizium-Mikromechanik-Technologie für Anwendungen bei Zimmertemperatur
-
Armin Diefenbach
Mikromechanische Kelvin-Sonde als Gassensor
-
Anton Mauder
Nachweisgrenze piezoelektrischer Sensoren
-
Gerhard Niebling
Strategien der Signalverarbeitung in der Chemosensorik
-
Robert Aigner
Systemeigenschaften von Silicium-Planar-Pellistoren
Silicium-Planar-Pellistoren sind miniaturisierte Gassensoren, die mit Methoden der Si-Mikromechanik hergestellt werden. Brennbare Gase werden kalorimetrisch über die Reaktionswärme einer katalytischen Oxidation detektiert.
-
Erich Josef Uttenthaler
Hochempfindliche akustische Sensorelemente für die Flüssigkeits- und Biosensorik