utzverlag
Anton Pfefferseder
Sensorik
Herausgegeben von Prof. Dr. Rudolf Müller, TU München
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Dirk Rossberg
Untersuchung und Herstellung eines spektral-abstimmbaren Infrarot-Sensors in Silizium-Mikromechanik-Technologie für Anwendungen bei Zimmertemperatur
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Armin Diefenbach
Mikromechanische Kelvin-Sonde als Gassensor
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Gerhard Niebling
Strategien der Signalverarbeitung in der Chemosensorik
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Anton Mauder
Nachweisgrenze piezoelektrischer Sensoren
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Robert Aigner
Systemeigenschaften von Silicium-Planar-Pellistoren
Silicium-Planar-Pellistoren sind miniaturisierte Gassensoren, die mit Methoden der Si-Mikromechanik hergestellt werden. Brennbare Gase werden kalorimetrisch über die Reaktionswärme einer katalytischen Oxidation detektiert.
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Erich Josef Uttenthaler
Hochempfindliche akustische Sensorelemente für die Flüssigkeits- und Biosensorik