
Dirk Rossberg
Herausgegeben von Prof. Dr. Rudolf Müller, TU München
Dirk Rossberg
Armin Diefenbach
Gerhard Niebling
Anton Mauder
Robert Aigner
Silicium-Planar-Pellistoren sind miniaturisierte Gassensoren, die mit Methoden der Si-Mikromechanik hergestellt werden. Brennbare Gase werden kalorimetrisch über die Reaktionswärme einer katalytischen Oxidation detektiert.
Erich Josef Uttenthaler
Anton Pfefferseder