Eine der größten Herausforderungen bei der Herstellung Integrierter Schaltungen mit der Siliciumplanartechnologie stellt derzeit die Reduktion der Signallaufzeit in den Leiterbahnen dar. Dazu ist es unter anderem notwendig, Materialien zu entwickeln, die besonders niedrige Dielektrizitätskonstanten aufweisen und als Inter Metall Dielektrikum eingesetzt werden können, sogenannte Low ε Dielektrika.
Ziele dieser Arbeit waren die Herstellung und Charakterisierung von Low ε Dielektrika durch Plasmapolymerisation. Wesentliche Teilaspekte waren dabei die Auswahl der Ausgangsmoleküle, die Untersuchung der Abscheidebedingungen und deren Auswirkung auf die Eigenschaften der entstehenden Plasmapolymerschichten.